| 关键参数 | 分辨率 | 0.9 nm@30 kV, SE |
| 1.2 nm@15 kV, SE | ||
| 1.9 nm@1 kV, SE | ||
| 1.5 nm@1 kV(超级减速） | ||
| 1.0 nm@15 kV(超级减速） | ||
| 加速电压 | 200 V~30 kV | |
| 放大倍率 | 1~1,000,000× | |
| 电子枪类型 | 肖特基场发射电子枪 | |
| 样品室 | 低真空模式 | / |
| 摄像头 | 双摄像头（光学导航+样品仓内监控） | |
| XY行程 | 110 mm | |
| Z行程 | 50 mm | |
| T行程 | -10°~+70° | |
| R行程 | 360° | |
| 探测器 | 镜筒内电子探测器 | UD-BSE/UD-SE |
| 仓室内电子探测器 | LD | |
| 插入式背散射电子探测器（BSED） | ○ | |
| 插入式扫描透射电子探测器（STEM） | ○ | |
| 低真空二次电子探测器（LVD） | ○ | |
| 能谱仪（EDS） | ○ | |
| 背散射衍射（EBSD） | ○ | |
| 扩展 | 样品交换仓（4寸/8寸） | ○ |
| 旋钮板&轨迹球 | ○ | |
| 双减速技术（Duo-Dec） | / | |
| 超级减速技术 | ○ | |
| 软件 | 操作软件 | Windows操作系统，中文SEM软件 |
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配） | |
| 自动功能 | 自动亮度对比度、自动 |
●标配 ○选配 /无
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